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產 品 中 心
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無氧化烘箱適用于半導體、光電元件、封裝測試,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜,銀漿固化、模后固化、電鍍退火,基板除潮、晶圓干燥退火等。
無氧化烘箱,無氧烤箱簡介:
無氧化烘箱適用于半導體、光電元件、能原材料、通訊產品、機電產品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測試,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜,銀漿固化、模后固化、電鍍退火,基板除潮、晶圓干燥退火等。
無氧化烘箱,無氧烤箱特點:
含氧控制:為更好防止產品受潮氧化,配有氧氣濃度傳感探頭,當氧氣濃度高于所設定數(shù)值時連接制供氣設備的電磁閥門自動打開,向箱內自動充氮; 氧氣濃度低于所設定數(shù)值時,連接供氣設備的電磁閥門自動關閉并將實時數(shù)據傳輸?shù)酵怙@示器上;
氮氣裝置:氮氣專用轉子流量計,進氣端配有氮氣減壓閥,氣源壓力及實際充氣壓力雙表指針顯示;
含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm
無氧化烘箱,無氧烤箱技術參數(shù):
溫度范圍:RT-200℃定點可調
控溫精度:±1℃
升溫速率:RT-100℃ 約20min
工作室尺寸:W600*D500*H750(可自定義)
外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵
內膽材料:優(yōu)質潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國標鏡面不銹鋼材質,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產生 PARTICLE;
活動層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤,可根據實際需要增加
循環(huán)系統(tǒng):強制水平送風循環(huán),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后熱風吸入風道成為源再度循環(huán)加熱,由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性,當門開、關動作 引起擾動時,可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值
進氣系統(tǒng):數(shù)量1個,φ50mm
排氣系統(tǒng):數(shù)量1個,φ50mm
溫控裝置:智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)(多段程序控制可選),并具有PID自整定,自動恒溫等功能
超溫保護:內置超溫保護儀,超過溫度設置上限自動報警并切斷加熱。
測溫裝置:采用標準型PT100溫度傳感器,精確測溫,穩(wěn)定可靠
定時裝置:內置自動定時器,0-99.99小時設定,可預設烘烤時間
報警裝置:恒溫時間結束后自動聲光報警提示
安全裝置:漏電,短路,過載保護;
固態(tài)輸出:SSR無觸點繼電器模塊,靈敏度高